Конструкционные материалы: Справочник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 540 541 542 543 544 545 546... 650 651 652
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Полупроводниковые материалы |
|
|
|
|
|
|
производства заготовок оптических
деталей и других целей.
Монокристаллы германия,
предназначенные для производства полупроводниковых приборов,
легированные сурьмой, изготовляют (ГОСТ 16153— 80) электронного типа
электрической проводимости (ГЭ) и легированные галлием дырочного типа
электрической проводимости (ГД). Диаметр моно-кристаллическнх слитков
28—40 мм» длина не менее 50 мм. Интервал номинальных УЭС 0,001—0,45
Ом-м. Ориентация продольной оси монокристаллического слитка
[111]; предельное отклонение плоскости торцового среза от плоскости
ориентации не более 2°,
Номинальные УЭС
монокристалли-.ческих слитков выбирают в соответствии с ГОСТ 8032—84
по следующим рядам: для УЭС 0,0001—0,1 Ом-м — (0,1; 0,12; 0,15; 0,2; 0,25;
0,31; 0,4; 0,5; 0,63; 0,8; 1,0)-10~2 Ом-м; для УЭС 0,01—0,10
Ом-м — (1,1; 1,4; 1,8; 2,2; 2,8; 3,5; 4,5; 5,6; 7,1; 9,0)-10"2
Ом.м;. для УЭС 0,10—0,45 Ом-м — (11,2; 14; 18; 22,4; 28; 35,5;
45)-10~2 Ом-м.
Монокристаллнческие слитки
германия по допускаемому отклонению удельного электрического
сопротивления от выбранного номинала и по плотности дислокаций
делят на три подгруппы. Для подгруппы 1 допускаемое отклонение УЭС от
выбранного номинала не должно составлять более ±25%, для подгруппы 2
— более ±20 % и для подгруппы 3 — более ±15 %.
Плотность дислокаций для
подгруппы 1 должна составлять не более 5-108 м-2,
Для подгруппы 2 — не более 2-108 м-2, для подгруппы
3 — не более 8-10' м"2.
Подвижность носителей заряда
в монокристаллических слитках германия в
зависимости от УЭС и типа электрической проводимости должна
соответствовать нормам, указанным в табл.
80.
Монокрнсталлический германий,
легированный золотом (3), сурьмой и Золотом (СЗ), галлием и золотом
(ГЗ) U У 48-4-291—74, ОКП 17 7441), предназначенный для производства
полупроводниковых приборов, поставляется
виде слитков
электронного (Э) типа лектрической проводимости и
дыроч- |
80. Подвижность носителей заряда
в моиокристаллических слитках германия (ГОСТ
16153—80) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Подвижность носителей
заряда при температуре (23±2) "С, м7(В.с), не менее |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
иого (Д) типа электрической
проводимости. Ориентация продольной оси монокристаллического
слитка [111]; отклонение плоскости торцового среза ох плоскости
ориентации не более 3°, Некоторые электрофизические свойства германия
приведены в табл-. 81. Монокристаллические слитки выращивают!
диаметром 18—35 мм и длиной св, 30 мм.
Монокристаллический германий,
легированный фосфором, электронного типа электрической проводимости
(ТУ 48-4-396—77, ОКП 17 7443), предназначенный для производства
подложен эпитаксиальных структур (марки ГЭФ-0,001) и полупроводниковых
приборов (марка ГЭФ-0,005), выпускают с номинальным значением УЭС не
более 0,000012 и 0,00005 Ом-м соответственно. Монокристаллические
слитки германия марки ГЭФ-0,001 имеют диаметр 20 мм и длину не менее
50 мм; слитки германия марки ГЭФ-0,005 имеют диаметр 25 мм и длину не
менее 25 мм, Ориентация продольной оси монокристаллических слитков [
111J; отклонение плоскости торцового среза от
плоскости |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 540 541 542 543 544 545 546... 650 651 652
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
