Конструкционные материалы: Справочник

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Конструкционные материалы: Справочник

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 538 539 540 541 542 543 544... 650 651 652

	Полупроводниковые материалы 573 отребителем [100]. Плотность дисло­каций для всех марок не должна превы­шать 5-108 м-\ Кремний КСД — солнечным дыроч-ноГО типа электрической проводимости, легированный бором; значения УЭС Q 00з_о,ОЗ Ом-млибо 0,05—О,450м-м. ' Кремний КСЭ — солнечный элек­тронного типа электрической проводи­мости, легированный фосфором; значе­ния УЭС 0,006—0,25 Ом-м. Время жизни неравновесных носителей заряда зависит от УЭС слитков. Монокристаллнческий кремний, по­лученный бестигельной зонной плав­кой, легированный фосфором в процессе нейтронной активации, предназначен­ный для производства силовых полу­проводниковых приборов, выпускается либо марки БО — бестнгельный одно-роднолегированный (ТУ 48-4-449—83), либо марки КОФ — кремний однород­ный, легированный фосфором (ТУ 48-4-443—83, ОКП 17 7222). „Слитки монокристаллнческого крем­ния марки БО имеют диаметр 54± ±0,05 мм, длину не менее 100 мм. Ориентация продольной оси монокри­сталлического слитка [111]; отклоне­ние плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 2°. Считки имеют электронный тип элек­трической проводимости, интервал УЭС 1,30—1,50 Ом-м, время жизни неравно­весных носителей заряда не менее 70 мкс. Плотность дислокаций не более Ю5 м~а. Свирлевые- дефекты отсутст­вуют. Концентрация атомов оптически активного кислорода неболее 1- 1032м"3, оптически активного углерода не более 4-Ю22 м-3. Слитки монокристаллического крем­ния марки КОФ имеют диаметр 44, 54, 60 либо 84 мм с погрешностью ±1 мм, Ориентация оси слитка [111], отклоне­ние плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более За. Имеются два интервала номинальных значений УЭС: 0,40—2,00 и 2,10— 3,оООм-м. Время жизни неравновес­ных носителей заряда (в"мкс) должно быть не менее половины УЭС (в Ом-см) Для номинальных значений УЭС 0,70— ',00 Ом-м и не менее 30 мкс для номи­нальных значений УЭС 0,40—0,60 (jm-m. Время жизни неравновесных носителей заряда в слитках с номи- нальным УЭС 2,10—3,50 Ом-м должно быть не менее 100 мкс. Плотность дислокаций в слитках не более 108 м-3, Концентрация оптически активных кис­лорода и углерода не должна превы­шать 5• 1022 м-3. Допустимое относи­тельное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения и допустимое относительное отклоне­ние УЭС от среднего значения по тор­цу слитка не должно превышать соот­ветственно 12 и 7 % для слитков с номинальным значением УЭС 0,40— 2,00 Ом-м и 15 и 10% для слитков с номинальным значением УЭС 2,10— 3,50 Ом-м. Монокристаллическнн кремний для фотопрнемников (ТУ 48-4-363—75) по­лучают как методом бестигельной зон­ной плавки (ОКП 17 724 марки КБ), так и методом Чохральского (ОКП 17 7214 марки КЧ), дырочного и электрон­ного типа электрической проводимости (легированы бором и фосфором соот­ветственно). Некоторые электрофизические свой­ства кремния, предназначенного для фотоприемников, Приведены в табл. 78. Диффузионная длина неравновесных носителей заряда где D = 35,36 см2/с для кремния ды­рочного типа электрической проводи­мости и D — 13 см2/с для кремния электронного типа электрической про­водимости. Концентрация оптически активного кислорода должна быть не более Ы0мм~8 для марок КБ и 7-1023 м~3 для марок КЧ. Кроме при­веденных величин, слитки кремния различаются геометрическими разме­рами. Монокристаллический кремний, по­лученный методом бестигельной зонной плавки из поликристаллического крем­ния водородного восстановления (ТУ 48-4-253—73, ОКП 17 7221), предназна­ченный для производства полупровод­никовых приборов, выпускается марки КВД (кремний водородный дырочного типа электрической проводимости). Слиткн монокристаллического крем­ния марки КВД поставляются диамет­ром 18—23 мм и длиной не менее 30 мм. Ориентации продольной оси монокрис- rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу