Конструкционные материалы: Справочник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 537 538 539 540 541 542 543... 650 651 652
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Материалы с особыми физическими
свойствами |
|
|
|
|
|
дырочного (Д).
Монокристаллические слитки не должны иметь дислокаций и свирлевых
дефектов. Концентрация атомов оптически активного кислорода (Nq2) не должна
превышать 5-1021 м~3, концентрация оптически
активного углерода (Л/с) — не более 5-1021м~3.
Слнтки имеют диаметр 78±2 мм и длину не менее 80 мм. Удельное
электрическое сопротивление (УЭС) моно-крнсталлического кремния
различных марок и ориентация продольной оси монокристаллического слнтка
приведены в табл. 77. Допустимое относительное отклонение
средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС составляет 20 %
для марок КВЭ и 25 % для марок КВД. Допустимое радиальное отклонение УЭС
от среднего значения по торцу не более 10%.
Время жнзни неравновесных
носителей заряда зависит от номинального УЭС слитка и для
электронного типа электрической проводимости составляет (в мкс): для
номинального УЭС от 0,01 до 0,5 Ом-м — не менее 400рн; св. 0,5
до 1,00 Ом-м — не менее 200рн; св., 1,00 до 1,50 Ом-м —не менее
150рн; для дырочного типа электрической, проводимости от 0,01
до 0,4 Ом-м — не менее 400рн; св. 0,4 до 1,50 Ом-м — ' не менее
200рн.
Монокристаллический кремний в
слитках (ГОСТ 19658—81, ОКП 17 . 7930), предназначенный для
приготовления пластнн-подложек, используемых в производстве
эпитаксиальных структур и структур металл—диэлектрик—полупроводник,
легированный бором (Б) (марки ЭКДБ), изготовляют дырочного типа
электрической проводимости (Д), п легированный фосфором (Ф)
(марки ЭКЭФ) или сурьмой (С) |
(марки ЭКЭр — электронного
ТИп электрической проводимости (Э) с плот, ностью дислокаций не
более 105 Ориентация продольной оси монокрис.' таллического
слитка кремния [Цп или [100]. Предельное отклонение плоскости торцового
среза монокрв-сталлических слнтков от плоскости ориентации не "должно
превышать 3° Номинальные диаметры слитков 62,5+|* 78,513 и 102,513 мм.
Концентрация кис-' лорода в слитках кремния диаметром 62,5 и 78,5 мм не
должна превышать 7-1023 м_3, а в слитках диаметром
102,5 мм — 1 • 1024 м-3. Слнткн кремния с удельным
электрическим сопротивлением более 0,03 Ом-м должны иметь время жнзни
неравновесных носителей заряда: длн электронного типа электрической
проводимости — не менее 7,5 мкс, для дырочного — не менее 2,5 мкс. Десять
групп марок слитков монокристаллического кремния характеризуются
различным номинальным удельным электрическим сопротивлением
(0,00005—0,4 Ом-м), относительным отклонением средних значений
удельного электрического сопротивления торцов от номинального
значения на 20—40 % и различным относительным отклонением удельного
электрического сопротивления от среднего значения по торцу
слитка на 10—20%.
Монокристаллический кремний,
предназначенный для производства полупроводниковых источников
тока (ТУ 48-4-258—80, ОКП 17 7215), изготовляется в виде
монокристаллических слитков, полученных по методу Чох-ральского, диаметром
40—55 мм и длиной не менее 50 мм. Ориентация продольной оси
монокристаллического слнтка [1111 или по согласованию
с |
|
|
|
|
|
77. Удельное электрическое
сопротивление и ориентация продольной оси монохристаллического слитка для
различных марок кремния (ТУ 48-4-466—85) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
От 1 до 50
вкл.
» 1 » 50 » Св 50 » 150
»
» 50 » 150
» |
|
|
От 1 до 50
вкл.
» 1 » 50 » Св. 50 » 150
»
» 50 » 150
» |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 537 538 539 540 541 542 543... 650 651 652
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
