Конструкционные материалы: Справочник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 534 535 536 537 538 539 540... 650 651 652
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Полупроводниковые материалы |
|
|
|
|
|
|
.„па запрещенной зоны Д£) не
превышает 1—3 эВ, то такие твердые тела г.,дут полупроводниками. При
—273 °G Центрическая проводимость таких веществ равна нулю. В
результате ка-к0го-либо энергетического воздействия
(температуры, излучения) электроны из валентной зоны могут быть
переведены в зону проводимости. В полупроводнике возникают носители
заряда: электроны в зоне проводимости н дйрки в валентной
зоне. Электрическая проводимость полупроводников увеличивается с
повышением температуры и определяется соотношением
>
где Д£ — ширина запрещенной зоны;
It — постоянная Больцмана; Т —
абсолютная температура.
Известно около 1000 простых и
сложных полупроводников. Многие из них используются для изготовления
различных электронных приборов и микросхем, СВЧ-генераторов,
фоточувствительных и преобразовательных приборов, лазеров,
термисторов, термоэлементов, тензочувствительных элементов, датчиков
Холла и др,
Обычно полупроводниковые
материалы, предназначенные для использования в электронике,
изготовляют в виде монокристаллических
слитков согласно ГОСТ 4.64—80.
Свойства полупроводниковых
приборов определяются свойствами исходных материалов. Для
полупроводниковых материалов, выпускаемых промышленностью,
применяются те или иные из показателей качества, установленных ГОСТ
4.64—80 (номенклатура показателей).
Простые полупроводники. Из
простых полупроводников наибольшее применение нашли кремний и
германий. Некоторые физико-химические свойства германия и кремния
приведены в табл. 74.
Для изготовления разнообразных
приборов требуются полупроводнико-, вые материалы с различными
свойства-ми- Ниже при описании марок полупроводниковых
материалов, выпускаемых промышленностью, после характеристик
монокристаллических слитков в скобках
приводится условное обозначе-8ие характеристики, Для каждого
типа |
полупроводникового" материала
установлены и контролируются показатели качества, определенные ГОСТ
4164—80. Группы и подгруппы марок материала имеют различный набор
численных значений показателей качества.
Слитки монокристаллического
кремния (ТУ 48-4-295—82), предназначенные для производства
полупроводниковых приборов и микросхем,
получают методом Чохральского (К) (ОКП 17 7211) с ориентацией продольной
оси монокристаллического слитка [111], [ 100],[013] диаметром42i§—102,5±g
мм и базовой длиной 60—150 мм или бестигелыюй зонной плавкой (БК) (ОКП 17
7221) с ориентацией [111 [диаметром 23—46 мм и
длиной 40—70 мм. Отклонение плоскости торцового среза слитка
кремния от плоскости ориентации (а) не должно превышать 3°.
Концентрация атомов оптически активного кислорода (А/о2)
должна быть не более 1 • Ю23 м-3 в слитках кремния,
полученных бестигельной зонной плавкой, и 7- 10гз
м~3 в слитках, полученных методом
Чохральского.
Слитки монокристаллического
кремния, легированные бором (Б) или алюминием (А), изготовляют
дырочного (Д) типа электрической проводимости, и легированные фосфором
(Ф), сурьмой (С) или мышьяком (М), а также фосфором и золотом (ФЗ) —
электронного типа. Технические требования на слитки могут быть
уточнены или изменены по согласованию между изготовителем и
потребителем.
Пример условного обозначения
слитков: 1А1 щ КДБ 7,5/2,5—76 ТУ 48-4-295—82, где 1А1
—подгруппа марок; кц — индексы дополнительных требований; КДБ —
монокристаллический слиток кремния, выращенный по методу Чохральского,
дырочного типа электрической проводимости, легированный бором; 7,5 —
номинал удельного электрического сопротивления, Ом-см; 2,5 — время
жизни неравновесных носителей заряда, мкс; 76 — диаметр,
мм.
В табл. 75 и 76 приведены
некоторые электрофизические параметры слитков монокристаллического
кремния.
В зависимости от группы и
подгруппы марки техническими условиями допускается: отклонение
средних значений удельного электрического
сопро- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 534 535 536 537 538 539 540... 650 651 652
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |