Конструкционные материалы: Справочник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 143 144 145 146 147 148 149... 650 651 652
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Материалы триботехиического назначения |
|
|
|
|
|
20. Влияние режимов ионного
азотирования на толщину и твердость износостойкого слоя [42
J |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Длительность азотирования
(в ч) для получения слоя толщиной, мм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
сиоиным катодом, дуговой с
термоавто-эмиссионным расходуемым, катодом) [20, 45, 71].
Применительно к нуждам
машиностроения вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий и
создания модифицированных поверхностных слоев можно условно разделить
на четыре группы: а) ионно-диффузнонные методы, осуществляемые в
тлеющем разряде; б) методы, основанные на явлении катодного
распыления в разряде постоянного тока и в высокочастотном разряде; в)
ионное осаждение; г) иоиное легирование и внедрение
(имплантация).
Примером методов первой группы
является нониое азотирование [4, 42], которое может проводиться при более
низких температурах и со значительно большей скоростью (табл. 20), чем
традиционное (в результате радиационного стимулирования скорость
диффузии азота многократно увеличивается). Ионно-диффузионные методы
могут быть также применены для насыщения поверхностных слоев кремнием,
углеродом и другими элементами, получения карбонитридных слоев и
т. п.
При использовании методов,
основанных на явлении катодного распыления [61,71 ], покрытие
образуется в результате конденсации главным образом нейтральных
частиц, выбиваемых из мишени бомбардировкой ионами инертного газа
(аргона, криптона), имеющими высокую энергию. Энергия частиц
наносимого материала по крайней мере на порядок выше, чем энергия
частиц, |
образующихся при испарении в
терме-^вакуумных методах. Методы позволяют наносить самые тугоплавкие и
недостаточно стабильные соединения с сохранением их
стехнометрического состава, нанесение которых термовакуумными методами
невозможно. Находят применение системы с автономными ионными
источниками. Системы распыления на постоянном токе используются для
нанесения покрытий из проводящих электрический ток материалов, системы
высокочастотного распыления — из диэлектриков.
Наиболее полно преимущества
методов, основанных на явлении катодного распыления, реализуются в
системах магнетронного распыления [25], в которых разряд
осуществляется в скрещенных электрических и магнитных полях.
Благодаря этому производительность магнетронных распылительных систем
одного порядка с производительностью установок, работающих по методу КИБ
(с электродуговым испарителем). К преимуществам их относится
отсутствие капельной фазы, что позволяет наносить покрытия
практически бе3 искажения исходного качества noBtpX-ности.
При использовании методов ионього
осаждения [26, 71] частицы наносимого материала, переведенного тем
млй иным способом в газообразное или птр°" образное состояние,
ионизируются и ускоряются в электрическом поле. Адгезия и
служебные характеристп14*-покрытий повышаю!ся при увеличении
энергии частиц, задаваемой ускоря|°* |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 143 144 145 146 147 148 149... 650 651 652
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
