Сварка в машиностроении: Справочник в 4-х т. Т. 1
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 488 489 490 491 492 493 494... 501 502 503
|
|
|
|
Сварка в микроэлектронике 491 При этом требуется, чтобы прочность соединения составляла определенный процент от прочности проводника на разрыв или от прочности адгезии пленки с подложкой (от 30 до 100%), устанавливаемый в зависимости от условий эксплуатации изделия. Контроль качества соединений в микросхемах. Все способы контроля качества сварных соединений можно разбить на два основных вида: испытания с разрушением соединений и испытания без разрушения как отдельных соединений, так и готовых микроэлектронных схем и приборов. К разрушающим способам контроля относятся механические испытания соединений; микроскопические исследования на шлифах с применением обычных металлографических или электронных микроскопов; химический анализ (как обычный, так и с помощью электронного микрозонда). К неразрушающим способам контроля можно отнести визуальный осмотр соединений и готовых приборов; оценку качества соединений с помощью щупов; испытания на герметичность корпусов; просвечивание рентгеновскими лучами; определение характера распределения температуры работающего прибора с помощью инфракрасных микроскопов; оценку электрических параметров готовых приборов. Несколько промежуточное положение занимаюг испытания приборов и схем на надежность; ударные и виброиспытания, климатические испытания, испытания на термоудары, испытания на старение, длительные электрические испытания на наработку элементо-часов до первого отказа и другие испытания. При анализе причин отказов какого-либо прибора сначала используют все возможные способы неразрушающих испытаний, а затем применяют разрушающие способы контроля. Основные виды и причины дефектов сварных соединений и отказов микросхем приведены в табл. 38. Для обеспечения высокой воспроизводимости качества наиболее целесообразно проводить контрольные испытания в несколько этапов: при испытании технологического оборудования; при выборе технологического процесса и подборе параметров режима сварки на данной установке; периодические производственные испытания для контроля технологического процесса; контроль качества и надежности готовых соединений и интегральных схем. Механические испытания и металлографический анализ соединений являются наиболее эффективными способами контроля и оценки качества соединений в различных микроэлектронных схемах при отработке технологических режимов сварки или пайки. Для оценки качества (прочности) сварных соединений тонких проводников с пленками на плоских подложках обычно проводят испытания на растяжение двумя способами: испытание на отрыв под углом 180, 90, 45 или 30° к поверхности подложки; испытание на срез параллельно поверхности подложки. В реальных конструкциях проводники по отношению к подложке могут иметь угол от 5—8° до 60—75°. При испытаниях на растяжение оценка ведется по разрывному усилию, которое сопоставляется с прочностью целого проводника на разрыв. При металлографических исследованиях выявляются плохая адгезия напыленных пленок, пустоты в сварных и паяных соединениях, наличие интерметаллических структур, непровар (особенно при герметизации корпуса сваркой), микротрещины в подложке в зоне сварки, степень растворения напыленной пленки при сварке, форма и размеры сварных соединений. Контроль внешним осмотром является одним из наиболее доступных и распространенных способов. Он применяется для пооперационного или выходного контроля. Цель контроля — оценка внешнего вида (микросоединений) путем сравнения их с эталонным образцом и выявление некачественных (дефектных) микросоединений при внешнем осмотре. Обычно устанавливается 100%-ный визуальный контроль качества по внешнему виду микросоединений.
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 488 489 490 491 492 493 494... 501 502 503
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
