Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 96 97 98 99 100 101 102... 140 141 142
|
|
|
|
Кристаллическая структура силицидов. Кристаллическую структуру силицидов обычно классифицируют по структурным типам совместно с другими соединениями металлов с такими элементами, как бор, фосфор, германий, алюминий и др. Большинство силицидов Зс?-переходных металлов относятся к фазам с плотными упаковками и фазами внедрения. Предложен принцип классификации, в котором за основу взяты координационные числа, конфигурация многогранников и способ их взаимного расположения. Для силицидов МоБЬ, СгБЬ,характерны мно гогранники двух типов (координационное число 10 + 4); их структуры могут быть представлены в виде одинаковых плотнейших слоев, по-разному уложенных друг на друга. Сг512 является изоструктурным соединением (структурного типа С40) с гексагональной сингонией: а= =0,4426 нм, с=0,6367 нм ф46, N=3). Межатомные расстояния: Ме—4Б1 (смежный слой) — 0,247 нм; ЗМе (в слое) — 0,255 нм; бЭ! (в слое)— 0,255 нм; 651 (в смежных слоях) — 0,247 нм; 4Ме (в смежных слоях)—0,306 нм; Б.—2Ме (в смежных слоях) —0,247 нм; 351 (в слое) 0,255 нм. Плотноупакованные слои из атомов кремния и металла находятся на расстоянии с/3 друг от друга. В ди-силициде атом Сг окружен шестью атомами 51, расположенными в слое, которые при значении координаты в элементарной ячейке ^[=1/6 удалены на одинаковое расстояние 0,255 нм. Ближайшими соседями (0,247 нм) металла оказываются четыре кремния в смежных слоях: по два в верхнем и нижнем. Окружение атомов кремния аналогичное, только из десяти ближайших соседей пять атомов Сг и пять атомов кремния. Сумма атомных радиусов металла и кремния, при" веденных к координационному числу 10: #асг(10) + + РчаБ1( 10) =0,257 нм, близка к наибольшему расстоянию в первой координационной сфере (0,255 нм). Электрические свойства силицидов. Полупроводниковая природа дисилицида хрома была выяснена в 1957 году. Изучению электрических свойств БЬСг посвящено много работ, количественные результаты которых сильно отличаются друг от друга. Подробное исследование образцов высшего силицида хрома разного состава показало, что монокристаллы 51Сг2, получаемые из расплава методом Чохральского, заметно обогащены хромом. Наименьшая электропроводность (600—660 Ом-1) приписывается образцам, состав которых описывается формулой СгБ12. Температурная зависимость электросопротивления носит экстремальный характер. Повышение температуры от 80 К ведет к монотонно ускоряющемуся росту электросопротивления, которое достигает максимума при 500 КДальнейшее повышение температуры указывает на зависимость р(Г), характерную для полупроводника. При этом параметр Ер, соответствующий энергии термической активации носителей, лежит в пределах (3,2-н-2,6) 10-19 Дж. Коэффициент термо-э. д. с. ат для СгБ12 положителен; по данным разных авторов он колеблется в пределах 80—200 мкВ/град. Повышение температуры выше 80 К ведет к росту коэффициента термо-э. д. с. с максимумом 200 мкВ/град при 600 К; при дальнейшем повышении температуры ат уменьшается. Изотерма От (%51) имеет особую точку вблизи 66,7%. Пленочные резисторы. В настоящее время преобладающим методом нанесения пленочных резисторов является осаждение реактивным катодным распылением в простой диодной системе. Методы термического испарения (дискретное испарение [9], испарение электронным пучком и т. д.) требует существенного усовершенствования, так как при реализации их в простейшем варианте они не позволяют добиться достаточной воспроизводимости результатов. Зависимость удельного сопротивления пленок МоБ12 и СгБЬ от толщины приведена на рис. 6-29,а. Влияние состава на удельное сопротивление и ТКС пленок системы 51—Сг показано на рис. 6-29,6. При термическом испарении в вакууме 1,3-Ю-2— —1,3-Ю-3 Па, а также при реактивном катодном распылении происходит заметное окисление Сг и 51. В частности, появляются окислы БЮ и БЮ2, пленки которых обычно образуют прослойки между зернами с более высокой электропроводностью. Осознание этого обстоятельства привело к использованию пленочных материалов на основе металлокерамических смесей (керметов) типа БЮ—Сг. Кроме высоких поверхностных сопротив 13* 195
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 96 97 98 99 100 101 102... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
