Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 94 95 96 97 98 99 100... 140 141 142
|
|
|
|
(это характерно, например, для гранулярных структур из №0 или кристаллитов 512Сг, разделенных прослойками аморфизированного 51аСг). Из эквивалентной схемы гранулярной структуры такого типа (рис. 6-26,а) следует, что сопротивление зерна постоянному току Здесь учитывается также наличие пор и других дефектов в проводящем слое (величина г3=к3р3). Соответственно /"1=£|р| и г2=к2р2Коэффициенты ки £2, &з— размерные коэффициенты. В случае проводящего слоя 2 значением Гз можно пренебречь. %Сг%Сг Рнс. 6-28. Зависимость концентрации Сг в пленке резнстивного сплава типа РС3710 от времени осаждения (а) и концентрации N1 (б). В случае проводящего зерна 1 и изолирующей прослойки 2 (например, в гранулярной структуре ТЮ2, Та) можно воспользоваться другой эквивалентной схемой (рис. 6-26,6). Эквивалентные емкости будут иметь значение С1=Я1е; с2=Лзе, так как предполагается, что изменение электрических свойств в приповерхностном слое не влияет на диэлектрическую постоянную. Если на низкой частоте принять значение р (/) =р1 и еф=е, то для (высокой частоты) Р(/') = -"р, + Р|. "(Г)= е(*Ра* + Р2'(6-10) {П (*р2 + Р.)2 '( Ш) где х — отношение толщины приповерхностного слоя к диаметру зерна [77]. Материалы на основе сплавов Б1—Сг с добавлением Ре и N1 (РС3710, РС3001 и др.). На рнс. 6-27 представлены тройные диа 190 Рэаммы систем Б!—Сг—Ре и 51—Сг—N1 [78]. Для системы 51—Сг— е характерно отсутствие тройных соединений. Сплавы с 0,5—1% примеси углерода содержат непрерывный ряд твердых растворов (Сг, Ре)5$13, относящихся к структурному типу Мп5513. В системе ^—Сг—№ имеются тройные соединения: Сг3М15512 (II), СгмМггЗно. В присутствии небольших (1 ат/%) количеств примеси Та образуются также тройные соединения: Сг2№251(Т1) и Сгз№з51 (хг). Последнее имеет низкосимметричную структуру. Силициды устойчивы в вакууме. При нагреве до высоких температур 1500—2000° существенные значения приобретает реакция разложения: Ре512—-Ре51+ +51; Р81Яв1,3-10-*, Па. В связи с тем что при термическом испарении используют вольфрамовые ленты и лодочки, необходимо учитывать реакцию образования в испарителе силицидов вольфрама. Некоторые из этих силицидов, например \У512, разлагаются по реакции: ЫШ&Хг—при Рв!^1 Па [79]. При 1700—1900°С %'СгТолщина ппвнки,мкм а)о) Рис. 6-29. Зависимость удельного сопротивления и ТКС резисторов в системе Б!—Сг от состава (а) и толщины (б). Psi%0,l и РтявО.З Per, т. е. из шнхты наиболее интенсивно испаряется хром, затем никель и меньше всего кремний. Анализ химического состава осажденной на подложку пленки сплава типа РС3710 нлн РС3001 показывает, однако, что на первых стадиях конденсации в пленке в избытке оказывается кремний, а не хром, как это следует нз соотношения давлений (6-11) [79]. Из рнс. 6-28,а следует, что вначале осаждаются фракции, богатые кремнием, и только спустя две — трн минуты восстанавливается нормальное (6-М) соотношение компонентов. Увеличение концентрации Ni до 10% подавляет это явление (рис. 6-28,6). Эти "аномальные" элементарные процессы испарения и осаждения в вакууме указывают на
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 94 95 96 97 98 99 100... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
