Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 92 93 94 95 96 97 98... 140 141 142
|
|
|
|
зов кислород способен улавливать на поверхности электроны из объема кристалла. Непосредственным результатом этого процесса будет появление на поверхности зерен отрицательного заряда, а вблизи поверхности слоя — р-типа, вследствие чего в приповерхностном слое кристаллита возникнет pn-переход. Влияние, которое подобная электрическая система окажет на свойства пленки, зависит от размера зерен а3, концентрации доноров в полупроводнике ND и поверхностной плотности адсорбированных атомов кислорода ns. На рис. 6-25 иллюстрированы наиболее типичные ситуации. В ?гС; 6"г/4' Расчетное положение уровня химического потенциала (Ео/Я—и) внутри сферического кристалла РЬБ диаметром 2а. п,: а-Мв=10" см-'; /-0.69; 2-1,1); 3-1,35; 4-1,54; 5-3,44; 5-7,35; а=50 ни; б-ЛГв=ю" см-3; /5,695; 2-9,45; З-ю.8; 4-12,45-16 65-18,5; 7 — 19,3; 8 — 22,0; а=50 им. Из рис. 6-24 видно, что адсорбция кислорода приводит к появлению на поверхности зерна .слоя р-типа (£0—а1/). Если зерно имеет малые размеры и (или) концентрация электронов в его объеме низкая, то при некотором значении па зерно по всей глубине приобретает проводимость р-типа. Если же максимальная поверхностная плотность п3, соответствующая монослою кислорода, недостаточна для того, чтобы связать большую часть свободных электронов, то внутренняя часть 186 Кристаллита будет иметь проводимость п-типа при любых условиях адсорбции. Рис. 6-25 показывает результаты расчетов зависимости электропроводности пленки от концентрации адсорбированных на поверхности зерна атомов кислорода. В ситуации, соответствующей рнс. 6-24,а, знак носителей меняется плавно по глубине зериа, которое может быть представлено двухслойной трубкой с сердечником п-типа и внешней оболочкой р-типа. Вклад в проводимость дают сердцевина п-типа (кривая /) с совершенной структурой и внешняя часть зерна, содержащая приповерхностный слой с существен Ом~'-м~'Ом [-M Рис. 6-25. Зависимость дырочной (/), электронной (2) и результирующей (3) проводимости от поверхностной плотности адсорбированных атомов кислорода — п. (а соответствует рис. 6-24,6, б — рис. 6-24,а). но нарушенной структурой (кривая 2). Во втором случае {рис. 6-25,а) мииумум будет значительно глубже, так как основной вклад в сопротивление дают высокие барьеры р-типа, содержащие в месте контакта между зернами отрицательно заряженные поверхности (см. рис. 6-24,я). Для пленочных резистивных материалов обычно характерен высокий уровень легирования имеющихся в пленке узкозонных силицидов или кремния. Поэтому для пленочного резистора наиболее типично, по-видимому, наличие весьма узкой области р-ткпа на поверхности зерна п-типа (ситуация на рис. 6-24,6 и 6-25,а).
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 92 93 94 95 96 97 98... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
