Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 90 91 92 93 94 95 96... 140 141 142
|
|
|
|
ства которых близки к массивным материалам. Однако р зависит от рассеяния носителей заряда на локальных нарушениях симметрии упаковки атомов (ионов) в кристаллической решетке (тепловые колебания, смещения атомов в твердых растворах, наличие искажений решетки, точечных и других дефектов). Удельное сопротивление определяется правилом Матиссена (рнс. 6-22): р=р(0)+р(Г). Здесь р (0) — остаточное сопротивление вблизи 0 К, зависящее от рассеяния электронов на дефектах кристаллического строения. Зависимость р(Г) для рассея р,10~в0м-м 7 В 5 4 3 г i о -200 -150 -100 -50 О50°С Рис. 6-22. Влияние температуры и примесей на удельное сопротивление серебра. ния на тепловых колебаниях атомов (ионов), имеет универсальный характер, если определить ее как функцию Т(@). В сплавах и твердых растворах наличие двух сортов атомов различного диаметра и массы вызывает существенное нарушение симметрии упаковки и связанное с ним смещение атомов. Вклад примесных атомов, введенных в чистый металл, зависит (правило 182 Линде) от места растворяемого ато^а в периодической таблице элементов. Остаточное сопротивление на 1% примеси по этому правилу Ар=а+Ь(г')\ где 1' — разность валентностей атомов растворителя и примеси; а и Ь — эмпирические константы, зависящие от природы металла растворителя и номера ряда, в котором находится элемент атома примеси в периодической таблице Менделеева. Таблица 6-11 Остаточное сопротивление Дрг, мкОм-см, на 1% примеси Элемент Примесь Cu . Ag Au Al Ti Fe N¡ Fe 3,3 7,9 6,8 Ir 6,1 Mo 5,8 N1 1,1 1,1 0,8 0,1 3,2 Pd 0,95 0,45 0,4 Pt 2,0 1,5 1,0 Rh 4,4 4,15 Si 3,1 0,7 6,9 Ti 16 13 5,5 V 8,0 4,6 Величина Apr изменяется для различных сочетаний растворитель —примесь в пределах 0,1—17 мкОм-см. Сильное влияние на удельное сопротивление оказывает примесь Ti, олова (Арг=17 мкОм-см) и меди (Арг= = 15 мкОм-см). В тугоплавких элементах Cr, Ni, Si и др. наблюдается существенное влияние на удельное сопротивление следующих примесей (табл. 6-11). [74]. Рассеяние электронов на нарушениях симметрии упаковки подобного типа может значительно превышать рассеяние на тепловых колебаниях, следствием чего будет резкое снижение ТКС. Примером подобного типа может служить система Си—Ni, в которой при 40% Ni (для константана) ТКС достигает минимума и близок к нулю по абсолютной величине. Поскольку одновременно с этим происходит существенный рост общего удельного сопротивления, один из путей получения резистив-ных материалов состоит в создании сплавов с высоким
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 90 91 92 93 94 95 96... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
