Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 79 80 81 82 83 84 85... 140 141 142
|
|
|
|
Система Ті—Реї—Аи. Еще лучшим контактом к пленочным резисторам из ТагЫ оказалась система Ті—Р1—Аи (75 им Ті; 300 нм Ра; 1 мкм Аи, рис. 6-9). В отличие от №Сг— Ра—Аи эта система имеет очень низкий первоначальный показатель шума, который практически ие меняется даже после 1000 ч старения при 250°С. Изменение переходного сопротивления происходит также в результате Рис. 6-9. Изменение сопротивления Д/?//?, %, резисторов при старении, ч. а — №Сг (35 нм), Аи (3200 нм); б — №Сг (20 нм), Рй (250 нм) и Аи (1400 им); в — №Сг (5 нм), Рй (500 нм), Аи (1800 нм); г —Л (80 нм), Рй (100 им), Аи (1140 нм). / — 250°С; 2—150°С. Рис. 6-10. Распределение прочности термокомпрессорных соединений для различных систем контактных материалов. диффузии Рс1 в Аи. Изменение механической стабильности и адгезии при старении имеет большое значение для прочности термокомпрессионного соединения. В этом отношении система Т1—Р1—Аи также оказывается одной из наилучших (оис. 6-10). 6-2. МАГНИТНЫЕ ПЛЕНКИ В [58] были предложены в качестве элементов оперативного запоминающего устройства (ЗУ) магнитные пленки, которые широко используются в современной микроэлектронике. Конструктивное оформление пленочных элементов иллюстрируется рис. 6-11. Применяются тонкие пленки из пермаллоя (81,5% N1 и 18,5% Ре): на цилиндрической проволоке (цилиндрическая конструкция) или на плоской подложке (планарная конструкция). Пермаллой данного состава является немагнито-стрикшюнным материалом и обладает большим значением остаточной индукции. И—295161
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 79 80 81 82 83 84 85... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
