Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 73 74 75 76 77 78 79... 140 141 142
|
|
|
|
материала или ухудшение вакуума от 10~2 до Ю-4 Па препятствует образованию столбчатых структур; снижение вакуума приводит к повышению степени дисперсности вследствие торможения процессов укрупнения блоков (отдыха и рекристаллизации). Возникновение полиблочных по толщине пленок связано с искажением решетки и с выделением примеси. Так как ресурс упругих искажений решетки ограничен, возникают две смежные области с несколько различающимися межплоскостными расстояниями вдоль границы их расчленения. Например, при средней микродеформации е="10_3 и размере блока 50 нм нерегулярность сочленения блоков на границе достигает 0,05 нм, что и обусловливает нарушение когерентности решетки с ростом блока при увеличении толщины пленки. Появляются дефекты кристаллического строения, например, краевые дислокации, наличие которых вызывает "надламывание блока". Происходят образование и рост на нижележащем блоке нового блока с измененной ориентацией. В пленках серебра и золота появляются дефекты упаковки (ДУ). В отличие от алюминия для них характерна низкая энергия ДУ в массивном материале: около Ю-6 Дж/см2. В пленках серебра толщиной 50—100 нм, конденсированных при низком вакууме, концентрация ДУ достигает 2,5%В более чистых вакуумных условиях (Я^кЮ-4 Па) концентрация ДУ снижается до 0,8—1,5%. В пленках золота ДУ в тех же условиях практически не наблюдаются: энергия их образования в пленке больше, чем в массивном материале, и достигает (2,0 ± ±1,0)10~6 Дж/см2. Это объясняет высокую дисперсность пленок золота по сравнению с серебром. Характеристики субструктуры пленок золота приведены в табл. 6-2. Таблица 6-2 Размер ОКР, ¿1 и Ь. в мвкродеформация е в пленках Аи Вид съемки Метод расчета на отражение на просвет на отражение па просвет £.^, им е-10" ЛII. нм 8-10" нм "10' £ ц, нм "•Юз По Коши* 19 2 20 2.5 29 2,5 25 1,5 По Гауссу* 6 3 15 3,0 10 3,0 18 2,0 • Метод расчета описан в [39]. Особенностью пленок золота (табл. 6-2) является высокий уровень микродеформации — вдвое выше, чем в пленках серебра [39]. Первостепенное влияние на субструктуру металлических пленок оказывает наличие в вакуумной среде остаточных активных газов. Влияние таких активных газов и паров, как кислород и пары воды, на формирование пленок начинает сказываться уже при их парциальных давлениях 1,33-10-5 Па для 02 и 1,06-10~3 Па для Н20. Например, моноатомный слой адсорбированного кислорода при 20 и 200°С существенно тормозит рост зерен. Степень влияния кислорода зависит от величины поверхности внутри пленки (в порах, каналах и т. п.). В [50] обнаружено влияние давления остаточных газов на размеры кристаллитов в пленках Аи, Ад, № и А1, осажденных на скол (100) №С1. Таблица 6-3 Влияние давления остаточных газов Р на размер кристаллитов в металлических пленках Размер кри При давлении Р, Па Металл т„. °с сталлитов А, П нм 1 ю-" 10"' Аи 275 70 10 200 3000 А8 275 100 50 900 Монокристалл N1 300 100 15 150 5000 А1 " 450 140—200 280 500 1350 Физико-технологические параметры конденсации подбирались так, чтобы обеспечить наиболее эффективный рост крупных кристаллитов. Этому способствовали ориентирующее влияние поверхности монокристалла ЫаС1 и высокая скорость конденсации — около 100 нм/с, снижающая долю остаточных газов, захватываемых при росте (параметр P/vк изменялся от Ю-2 до Ю-10 Па-с/нм). Результаты экспериментов приведены табл. 6-3 [39]. При конденсации на неориентирующие подложки и при меньших значениях параметра захвата остаточных газов Я/ин влияние степени вакуума на размер кристаллитов менее выражено. Например, пленки золота толщиной 20 нм в этих условиях состояли из блоков-кри
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 73 74 75 76 77 78 79... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
