Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 72 73 74 75 76 77 78... 140 141 142
|
|
|
|
тировки. Между двумя соседними блоками средний угол разориентировки у°ср больше у°. Углы разориентировки между соседними блоками достигают десятков градусов и всегда 7ср2-нЗ°. В этом состоит существенное отличие проводящих пленочных материалов от массивных, в которых резориентировка соседних мозаичных блоков (областей когерентного рассеяния — ОКР) не превышает десятков минут. Форма блоков определяется путем измерения их размеров в двух направлениях: Ьа—в плоскости подложки и перпендикулярно подложке. Значения ¿1 и 7°ср для пленок Ад одинаковой толщины, определенные по отражениям от различных плоскостей (кЫ) [39], приводятся ниже. Субструктурные данные для пленок kg при к = 45 нм, 5= 1,3 мкм2 ш "ш /.д^, НМ * ср (111) 105 27,0 3,7 (200) 75 26,0 4,8 (220) ПО 27,0 3,3 (311) 145 29,0 2,5 Полагая, что межблочные границы имеют дислокационную природу, можно вычислить плотность дислокаций Л^ь. В пленках А1 и Ag плотность дислокаций достигает Ыь^7-\0п—3-Ю12 см-2. Таким образом, пленки, конденсированные при температурах, близких к комнатной, существенно отличаются от массивных материалов. Раздельно отражающие области когерентного рассеяния в тонких пленках имеют размеры, близкие к мозаичным блокам в массивных поликристаллах, но подвергнутых сильной деформации. В отличие от этого углы разориентировки между блоками в пленках значительно больше (на порядок) углов разориентировки в массивном поликристалле, а по порядку величины соответствуют углам разориентировки между кристаллитами, которые значительно крупнее блока мозаичности. Отсюда возник термин "блок — кристаллит", так как в пленках, в отличие от массивного материала, размеры блока и кристаллита совпадают. В массивном материале блоки мозаичности 146 совпадают с областями когерентного рассеяния, слабо разориентированными относительно друг друга, а кристаллиты разориентированы на большие углы 5—10° и содержат большое количество блоков мозаичности. Указанная форма субструктурной неравновесности поликристаллических конденсированных пленок создает особую специфику их прочностных и электрофизических свойств. Например, большая разориентировка малых блоков-кристаллитов обусловливает высокое сопротивление пластической деформации: прочностные характеристики и размер блоков-кристаллитов меняются антибат-но [48]. Увеличение угла разориентировки между кристаллитами приводит к ускорению диффузии по межзеренным границам. Поэтому тонкие пленки диффузионно-активны [39]. Диффузионная активность обусловлена наличием точечных дефектов в блоках, развитой свободной поверхности (пор) и большого числа межзеренных границ. Одностороннее поступление молекулярного пучка при вакуумной конденсации порождает тенденцию к образованию столбчатых структур. Это можно видеть на примере алюминиевых пленок [(39] (табл. 6-1). Таблица 6-1 иллюстрирует некоторые особенности тонких пленок: столбчатость блоков-кристаллитов в пленках толщиной /г = 130 нм и отсутствие столбчато-сти при /і=40 нм; заметной величины достигает анизотропия микродеформации (особенно в тонких пленках); уровень микродеформации снижается с увеличением толщины (и времени роста), т. е. микроискажения решетки снимаются уже в процессе роста; загрязнение Таблица 6-1 Размеры ОКР, /.^ и микродеформация є в алюминиевых пленках к = 40 нм к = 130 нм Метод вычисления Съемка на отражение Съемка на просвет Съемка на отражение Съемка на просвет • •10 1.^, нм Е-10" £ д , нм • •10" нм е-10' £ц, нм По Коши [39] 0,3 3,7 1.3 50,0 0,7 127,0 0.4 57,0 По Гауссу [391 0,3 33,0 2,8 38,0 1.0 88,0 0,5 49,0 10* 147
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 72 73 74 75 76 77 78... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
