Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 67 68 69 70 71 72 73... 140 141 142
|
|
|
|
Физико-химическая природа материала. Большое значение при формировании активироваииого состояния имеют характер и прочность химической связи и термодинамические параметры материала. Важной характеристикой легкоплавких и тугоплавких материалов, а также легколетучих и труднолетучих материалов является гомологическая (относительная) температура Тт=Тп1Тя (Т3 — температура плавления вещества конденсата; Тп — температура подложки) [|131]. Для тугоплавких материалов характерны интенсивное взаимодействие и более прочная химическая связь с активными компонентами остаточных газов, чем для легкоплавких. Однако и здесь проявляется большая величина активационных барьеров при адсорбции и поверхностных реакциях. Следствием совместного действия этих факторов является повышенная чувствительность скорости взаимодействия тугоплавких материалов с Рис. 5-18. Зависимость коэф адсорбированными примеся г"" ™ миТакие катализаторы, как температуры подложки /п дляг ЕиБ на стекле (/) и ЫаС1 (2). пары воды, вакуумного масла и других органических и неорганических компонентов остаточных газов, присутствующие в обычном техническом вакууме, могут интенсивно вовлекаться в реакцию с веществом пленки. Легколетучие соединения, возникающие в этих реакциях, способны уносить с подложки заметную часть вещества плевки. Этот эффект обсуждается в § 6-4 применительно к сплаву РС3710 и был обнаружен также при изучении пленок ЕиБ [132]. Коэффициент хк . конденсации ЕиБ достигает единицы при 7,П250°С. При низких температурах (20°—200°С) ак^0,5 на стекле; ак^0,2 на №С1 (рис. 5-18). Поскольку реиспарение с подложки для столь труднолетучего соединения, как ЕиЭ (температура интенсивного испарения около 1800°С), практически исключено, падение коэффициента конденсации вызывается (так же как и в случае Сг в РС3710) поверхностными реакциями с последующим удалением легколетучих продуктов этих реакций. Интенсивное замурйвЫвание различных примесей, прочно связанных с материалом пленки, обеспечивает в этом случае замораживание процессов релаксации и, следовательно, способствует сохранению неравновесного состояния в пленках. Так, например, в пленках ЕиБ при 7'п=20-т-250оС сохраняются значительные включения аморфной фазы, что совершенно несвойственно легкоплавким и легколетучим соединениям этого типа, например ЫаС1, РЬБ и т. д. Физико-химия активированного состояния. Накопление и обобщение опыта, связанного с различными видами обработки материалов, оказывающими существенное влияние на свойства и структуру вещества, привело к разработке представлений об активированном состоянии твердого тела ^101]. Такое состояние возникает в результате интенсивного внешнего воздействия яа твердое тело мощным излучением или потоком нейтральных илн заряженных частиц высоких энергий, нарушающего периодичность кристаллической решетки. Активированное состояние отличается от равновесного "нормального" повышенным значением свободной энергии О*: Л*=ДО* = 0*—О0,(5-7) где ,0 — свободная энергия иевозбужденного, равновесного состояния; О* — свободная энергия в возбужденном — активированном состоянии; А* — активность, равная при постоянной температуре Г А* г=АН* г—ГАЯ*,(5-8) где Д#*0=#*о—На и Д5т=5*т—5Г — изменения энтальпии и энтропии системы при переходе в активированное состояние; Н*0 и #0— значения при абсолютном нуле. Изменения энтропии и энтальпии при температуре Т1 задаются соотношениями: -сГГ; о г ДЯ% = (Н\ Я0) + | (с% ср) ОТ. (5-9) Из (5-9) следует, что активированное состояние характеризуется тремя основными параметрами: изменением энтропии и энтальпии при абсолютном нуле, т. е. в отсутствие теплового возмущения, и изменением теплоемкости, т. е. изменением характера термического возбуждения твердого тела при нагреве. Существуют следующие методы создания активированного состояния. 1. Метод конденсации из парообразного состояния основан на конденсации молекулярного пучка, сформированного в испарителе при температуре Г„ на Подложку при температуре Гп в условиях больших переохлаждений ДГ=Г,—7"„.
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 67 68 69 70 71 72 73... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
