Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 64 65 66 67 68 69 70... 140 141 142
|
|
|
|
быточных вакансий; значительный уровень ориентированных и дезориентированных микронапряжений. Явления старения в пленках можно подразделить на следующие виды: а)процессы фазового физико-химического старения. Они присущи поликомпонентным системам (п2) и сводятся к изменению состава и типа кристаллической решетки или агрегатного состояния неравновесной фазы. Примерами таких процессов может служить распад переохлажденных жидких или пересыщенных твердых растворов, эвтектоидный распад, расстекловьгвание поликомпонентных фаз, окисление, восстановление фаз и другие твердофазные химические процессы; б)процессы фазового (полиморфного) старения. Они протекают без изменения химического состава. К ним относятся полиморфные и мартенситные превращения, процессы упорядочения и разупорядочения фаз, кристаллизация (расстекловывание) однокомпонентных аморфных фаз и т. д.; в)внутрифазовые (макрои субструктурные) процессы старения. Эти процессы протекают без изменения химического состава и типа решетки (а также агрегатного состояния). Подвергаются изменению лишь макро-и субструктурные характеристики и связанные с ними структурно-чувствительные свойства (степень дисперсности, взаимные ориентировки макрои микрообластей решетки, ее макрои микродеформация, концентрация и распределение дефектов кристаллического строения). К подобным процессам относятся рекристаллизация, отдых, полигонизация, возникновение и изменение текстуры, появление и релаксация макрои микронапряжений, двойникование и т. п. Влияние физико-технологических условий препарирования на фазовую, структурную и субструктурную не-равиовесности в пленочных материалах. В пленочных материалах, особенно в конденсированных пленках, вследствие больших переохлаждений и пересыщений закономерно появляются неравновесные состояния, благодаря наличию которых пленочный материал находится в активированном состоянии. Степень неравновесности и, следовательно, степень активации в конденсированных пленках не уступают, а иногда и превосходят соответственно степень активации, достигаемую облучением материала интенсивными корпускулярными и электро 130 магнитными пучками (см. § 8-3). На степень неравнб-весности пленок существенное влияние оказывают следующие физико-технологические параметры. Условия формирования молекулярного потока вещества, направляемого на подложку. Существенное значение имеет способ формирования молекулярного потока. При катодном распылении на подложку направляются не только нейтральные атомы или их комплексы, но также ионы распыляемого материала. Рис. 5-9 в § 5-2 иллюстрирует многообразие компонентов, попадающих на подложку вместе с основным молекулярным потоком распыленного материала мишени. В обычных условиях (т. е. при отсутствии особых мер очистки: безмасляной откачки, длительной откачки ионно-сорбционными насосами и т. д.) в этом потоке содержится большое количество электрически активированных радикалов и комплексов. Эти возбужденные радикалы и комплексы (например, С+, НгО+, Н30+, СОН+, АгН+, Аг2+, Аг+ и Аг+2) вовлекают молекулы и атомы осаждаемого вещества, подложки и остаточных газов в специфические плазмохимические реакции, а также передают энергию возбуждения другим атомам и молекулам, находящимся на подложке. При наличии отрицательного смещения 50--150 В подложка подвергается интенсивной бомбардировке ионами Аг+ с соответствующей энергией. Из сказанного следует, что специфика катодного распыления во влиянии на активированное состояние заключается в следующем. При осаждении пленок ионно-плазменным методом возможны интенсивные активированные состояния, которые не свойственны термовакуумному или каким-либо другим методам осаждения пленок. В пленках, нанесенных катодным распылением, возможно появление примесей или структурных комплексов, которые резко отличаются от примесей и структурных комплексов в обычных пленочных материалах. Они могут явиться эффективными стопорами в различных процессах релаксации. Интенсивная бомбрадировка ионами аргона в процессе формирования пленки способствует в то же время протеканию интенсивных процессов релаксации активированного состояния. Сочетание всех трех факторов может существенно изменить сам характер начального активированного состояния, пути перехода к равновесию и тип остаточ 9* 131
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 64 65 66 67 68 69 70... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
