Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 63 64 65 66 67 68 69... 140 141 142
|
|
|
|
ветвленные цепи. При этом форма этих цепей и их относительное расположение могут соответствовать трем различным вариантам [1134]: спирально закрученным цепочкам (Бе—I), плоским зигзагообразным цепочкам с малой (Эе—II) и повышенной (Эе—III) степенью упорядочения вдоль цепочек. Наиболее неустойчиво аморфное состояние селена в первой аморфной модификации, т. к. в ней содержатся те же структурные комплексы (восьмиатомные кольца), что и в кристаллической фазе Эе. Поэтому при повышенной температуре, а также в процессе хранения или эксплуатации в аморфных пленках даже при комнатной температуре возникают и растут островки селена с моноклинной решеткой [135]. После перехода селена из аморфной фазы в кристаллическую моноклинную возникает медленный процесс (старения) превращения моноклинной модификации в гексагональную. Вследствие различий в плотности гексагонального и моноклинного Бе происходит нарушение сплошности слоя [136]. В слоях второй аморфной модификации также развивается процесс кристаллизации. При повышении температуры она переходит в гексагональный селен с образованием сферолитов [137]. Термически наиболее устойчивы пленки, содержащие смесь второй ^аморфной модификации с малым содержанием первой модификации. Фазовые превращения в селене указывают на важную роль кристаллогеометрического фактора. Первая аморфная модификация легко переходит в моноклинную, а вторая в гексагональную вследствие общности структурных комплексов аморфной и кристаллической фаз. Образование термодинамически неравновесных фаз зависит прежде всего от механизма конденсации. Аморфные и стеклообразные состояния появляются, в частности, при переохлаждении жидких фаз, когда конденсация осуществляется по механизму пар—жидкость (ПЖ). При механизме пар—жидкость—кристалл (при ПЖК механизме конденсации) часто образуются метастабильные модификации и сильно пересыщенные твердые растворы не только по отношению к "равновесной" растворимости при данной (например, комнатной) температуре, но и к максимальной растворимости в твердой фазе по диаграмме состояния. Это происходит особенно часто в бинарных и многокомпонентных системах, для которых характерна неограниченная растворимость компонентов в жидком или газообразном и ограниченная— в твердом состоянии [9]. Структурная иеравиовесность. Структурная неравновесность присуща пленкам с беспорядочной ориентировкой кристаллитов (поликристалл), коллоидной степенью их дисперсности, наличием текстуры или высоким уровнем остаточных внутренних напряжений первого рода. Примеры проявления всех этих видов структурной неравновесности рассмотрены в [39]. Поэтому остановимся лишь на неравновесных состояниях, связанных с наличием текстуры. В пленках с преимущественной ориентацией кристаллитов степень неравновесности существенно выше, чем в монокристалле, но ниже, чем в высокодисперсной пленке с полностью хаотической ориентацией кристалликов. В конденсатах, нанесенных на нейтральную подложку, возникает несколько видов текстуры [39]: а) текстура зарождения, появляющаяся на самой ранней стадии конденсации; б) текстура коалесценции, возникающая вследствие "перераспределения" вещества — слияния неравновесных, невыгодно ориентированных зародышей с более устойчивыми частицами благодаря стремлению к минимуму свободной энергии; при этом уменьшаются число ориентировок частиц и общая поверхность границ между ними, т. е. межкристаллитная поверхностная энергия; в) текстура роста, возникающая на более поздних стадиях разрастания частиц уже в сплошной пленке; г) текстура старения, образующаяся при длительном хранении изготовленной пленки. "Полное" структурное равновесие в пленке достигается лишь при превращении ее в один совершенный монокристалл. Существенное приближение к структурному равновесию, сопровождающееся ростом крупных монокристальных фрагментов, может быть достигнуто путем отжига. Субструктурная неравновесность. Наблюдаются следующие формы субструктурной неравновесности: высокая дисперсность блоков (Ю-7—Ю-6 см); большие углы разориентировки (1—10°) между блоками; высокая концентрация ростовых (около 5%) и деформационных (около 1%) дефектов упаковки; большая плотность дислокаций (108—1013 см-2); высокая концентрация из 9—295 129
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 63 64 65 66 67 68 69... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
