Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 59 60 61 62 63 64 65... 140 141 142
|
|
|
|
Влияние состояния и ориентации поверхности РЬ$ на ур [23] показано ниже. Плоскость Состояние поверхности ор (отн. ед.) (100) Свежесколотая 820 Естественное старение 862 Шлифованная 836 (111) Естественное старение 1382 Шлифованная 1422 Изучение состава, химического и зарядового состояния выбитых ионами частиц показывает, что ионная составляющая для элементарных полупроводников, так же как и для металлов, весьма существенная и составляет несколько процентов. На рис. 5-9 представлен масс-спектр положительных ионов, попадающих на подложку при распылении в тлеющем разряде [24]. Концентрация ионов Аг+ обычно значительно выше в объеме камеры, чем на поверхности подложки, так как на последнюю попадают только ионы Аг+, не потерявшие заметного количества энергии. Ионы Аг+ легко теряют энергию в результате резонансной перезарядки при столкновениях, при которой электроны переходят с оболочек поверхностных атомов на оболочки ионов. Масс-спектрограммы на рис. 5-9 дают представление о наиболее часто возникающих ионах, заряженных комплексах и молекулах, образующихся при катодном распылении. Рис. 5-9,а относится к ионам, энергия которых превышает 32,25 (±0,05) • Ю-18 Дж; сон* £2* АгН г & зд 4о $о +*) &7Син Аг2 60 70 00 ++ АгНн О 8 20 20 40 50 60 70 ВО АГ Аг+ АгН1 63Съ+ ..... Да 65 Си+ АГ2+ 20 30 40 50 60 ШшБт номер 70 ВО Рис. 5-9. Масс-спектр положительных нонов тлеющего разряда при распылении Си [24]. а — ионы с энергией (32,2± 0,362) • 1,59 • 10—18 Дж: б —с энергией (33,2± 0,362)Х Х1.59 10-" Дж; в — то же, что и б, после дополнительной очистки камеры Титановым насосом.
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 59 60 61 62 63 64 65... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
