Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 55 56 57 58 59 60 61... 140 141 142
|
|
|
|
зуется "полушириной" ао,5, которой соответствует заданное значение функции распределения р(а0,5) ==0,5. Испарение происходит с поверхности шихты в сечении А—А. Газодинамический поток формируется на некотором расстоянии Ьк (толщина внутреннего газокинетиче 2 ' 7-А 3 А ЇЇ Рис. 5-1. Разлетание струи пара за выходным сечением цилиндрического испарителя (а); траектория частицы пара (б). / — испаритель; 2— подложка; 3— холм конденсата йа стицы. Остальные пояснения в тексте. • вектор скорости ча ского слоя, в котором распределение молекул по скоростям отличается от распределения Максвелла). Вблизи поверхности испарения распределение молекул пара по скоростям может существенно отличаться от равновесного. Последнее означает, что газодинамическое описание движения пара во внутреннем газокинетическом слое невозможно. Этот слой ограничен с внешней стороны поверхностью разрыва В—В, которую принимают 112 за начальное газодинамическое сечение для всей газодинамической области Ьг. Внутренняя газодинамическая область заключена на рис. 5-1 между сечением В—В и выходным сечением испарителя и имеет длину /. г Внутренний газокинетический слой Ьк можно в соответствии с [12, 14] рассматривать как охлажденную разреженную среду, в которую проникает более горячий и плотный пар. После проникновения на глубину Ьк осуществляется выравнивание параметров и устанавливается равновесие. Область внутреннего газокинетического слоя рассматривается по аналогии с ударной волной, для которой имеет место слабый разрыв параметров на границе. Давление пара Р=^ + ^+^^-Ш-^.(5-3) Здесь Р\ и Р2 — давление до и после разрыва; и— расстояние, отсчитываемое от середины разрыва; Ьк — ширина разрыва (газокинетического слоя): ^ = 7^-8.(5-4) где Здесь Й —удельный объем газа; с — скорость звука в нем; т] и | — коэффициенты вязкости; V. — коэффициент теплопроводности; ср и съ — теплоемкости. Для модели жестких шаров = ^УГ; ,= °-^УШГ, где т — масса; г — радиус атома; | — для одноатомных газов равно нулю. Из (5-5) следует, что б—1,281, где К — длина свободного пробега: К=пг2Ы/4, число молекул в единице объема. Соотношения (5-4) и (5-5) пригодны для (Р2— Р\)/{Р2 + Р1) ^1 т. е. для случая слабого разрыва. Для сильной ударной волны, когда Рч~ЭР\ или (Р2— -/,)/(Р2 + /1)""1. ¿„=0,503X1,¿„=0,012X2-8-295ИЗ
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 55 56 57 58 59 60 61... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
