Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 52 53 54 55 56 57 58... 140 141 142
|
|
|
|
Здесь Л/"— концентрация хемосорбированных чисти"; ГА и /•'.,-множители, характеризующие состояния активированных н хемосорбированных частиц; £а — энергия активации. Если частица удерживается на поверхности жесткой ковалентной связью, так что активированные и хемосорбированные частицы неподвижны, то соотношение (4-20) упрощается: '( я?) со=ЛУехр---А).(4-21) Количество адсорбированных частиц Ыг определяется в соответствии с изотермой адсорбции, так же как и для газа, например изо термой адсорбции Ленгмюра: где Си — концентрация частиц в объеме; а = 6ехр (С}а/ЯТ); Ь — постоянная для данного типа частиц; 2л — теплота адсорбции; 0„— степень заполнения поверхности. Скорость гетерогенной реакции с учетом (4-22) равна: со = ЬС#У ехр ЯГ (4-23) Здесь №ц — число мест адсорбции. При электрохимическом растворении металлов процесс также рассматривается как совокупность сопряженно протекающих реакций катодного восстановления окисли теля и анодного окисления металла [34, 35]. По своей микроскопической природе процесс растворения металла представляет собой ие-локализованный, разделенный в пространстве процесс взанмодей ствия частиц раствора и поверхностных атомов. В отличие от этого растворение полупроводника или диэлектрика представляет. собой локализованный процесс взаимодействия одного поверхностного атома (или локального комплекса поверхностных атомов) с частицей раствора. Растворение германия. Механизм растворения ве в водных растворах связан со сложными процессами ионного равновесия в водных растворах [36, 37]. На рис. 4-5 схематически представлена схема процессов, происходящих при растворении германия в водных растворах с различном величиной рН [31]. По горизонтальной оси отложена концентрация двуокиси германия. Из рис. 4-5 видно, что в нейтральном растворе йе содержится в основном в виде недиссоцинрованных молекул НгйеОз. Рост концентрации йеОг при одновременном увеличении рН приводит к появлению ионов Ое502[~ и Н20е,02^Г. В щелочных растворах (рН14) устойчиво существуют ионы [Се04]2~ и [СегОб]2-. Ка-тионные формы сложных ионов образуются при малых рН и малых концентрациях веСЬ. Предполагают, что в этом случае устойчиво существуют ионы [С!еО]2+. Германий растворяется в воде, насыщенной кислородом. Процесс растворения связан с локализованным взаимодействием между атомом твердого тела и окислителем. Первый этап реакции может быть представлен реакцией 02 (раствор)—-02 (адсорбат). Германий растворяется также в неводных растворах: в четырех-хлористом углероде (взаимодействие с хлором) [38], в расплаве индия и других неводных средах. Для водных растворов, независимо от их состава, процесс взаимодействия характеризуется одним и тем же значением энергии активации поверхностной реакции. Эта энергия активации соответствует величине предэкспоненциального множителя N,1. Разрыв химической связи при отделении комплекса от твердого тела может 10 -5 ю 10 1 [бе*] ¡0 (веО) + 2 нвеОз Н2Єе03 ^^Н0е5О,! НОеО 3 {[боіоиШон)3Г ІІ [ве(ОН)5] рн Рис. 4-5. Схема реакций в водном растворе гидроокиси йе при различных значениях его концентрации и рН раствора. осуществиться одним из двух способов: гомолитическим — когда связь рвется с сохранением электронейтральности, и гетеролитиче-скнм -когда один из атомов лишается электрона. На этом атоме локализована дырка, а на другом — электрон. Поверхность кристалла в процессе растворения в первом случае остается нейтральной. При гетеролитическом разрыве связи она заряжается. Гетеролитиче-ческий обрыв связи имеет место в присутствии атомов с высоким сродством к электрону (т. е. в окисляющей среде). Эффективность инжекции дырок убывает в следующем ряду растворителей: Н2Ш, К^е (СЫ)„ 12 Н202. В этой же последовательности убывает скорость растворения германия.
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 52 53 54 55 56 57 58... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
