Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 31 32 33 34 35 36 37... 140 141 142
|
|
|
|
Способность к адсорбции сложных молекул однозначно связывается с наличием у них сильной полярной связи с атомом водорода. При этом весьма существенно, чтобы^ конфигурация молекулы допускала непосредственный контакт оконечного малого атома водорода с поверхностью. Для интенсивной адсорбции 02 на поверхности элементарного полупроводника необходимо присутствие некоторого количества водорода (например, в виде водяного пара), что может свидетельствовать о роли водородных комплексов в этом процессе. Если кислород адсорбируется на поверхности (111), предварительно покрытой атомарным водородом, то кинетика адсорбции 02 позволяет количественно выявить роль в адсорбции Ог предварительно адсорбированных атомов водорода. В этом случае начальная скорость адсорбции 02 значительно меньше, чем для 02 со следами влаги, однако предельная адсорбция 02 существенно больше [1]. Предполагается [1], что предварительно адсорбированный водород "скрывается" под поверхностью (111) германия, а не удерживается на его поверхности ковалент-ной связью. Сопоставление этих результатов с данными по влиянию водорода на электропроводность и знак носителей заряда в пленках Ge указывают на существование на поверхности германия атомов водорода в виде г и s-атомов. Комплексы германий —кислород. Тщательно осушенный кислород не хемосорбируется на атомарно-чистой поверхности Ge [5]. Это указывает на высокую прочность регибридизированных поверхностных связей Ge (см. табл. 2-1). Можно предположить, что присутствие некоторого количества молекул воды дает начало каталитической реакции, завершающейся прочным связыванием кислорода с поверхностью германия. На первом этапе этой реакции малые атомы водорода в молекуле воды, взаимодействуя с поверхностью, вызывают адсорбцию Н20. Одним из промежуточных этапов реакции является, по-видимому, образование перекисных по: зерхностных комплексов. Окисление германия при этом происходит по механизму Баха — Энглера [5]. Цепной механизм реакции, при котором количество воды остается постоянным, может быть осуществлен даже при ничтожно малом количестве водяного пара в кислороде. Некоторые свойства подобной реакции могут быть уста новлены, исходя из изучения кинетики адсорбции кислорода на предварительно насыщенную водородом поверхность ве [5]. Опыты по адсорбции кислорода, либо содержащего остаточные пары Н20, либо адсорбируемого после насыщениия поверхности водородом, проясняют роль г и "-центров водорода в механизме инициированной парами воды адсорбции кислорода [5]. В случае предварительной адсорбции водорода все подобные центры заняты. Более медленная, чем в опытах без водорода, начальная кинетика хемосорбциц кислорода в этом случае может быть объяснена необходимостью освобождения г или "-центров для последующей адсорбции воды. Последнее может быть осуществлено в результате промежуточной реакции образования воды из водорода, предварительно адсорбированного ве. Синтезированная вода служит дополнительным резервом в последующей реакции окисления йе по механизму Ба-ха-Энглера. Адсорбция кислорода на предварительно насыщенной водородом поверхности Ое больше, чем без водорода. После образования слоя адсорбированного кислорода пары воды, участвовавшие в реакции, связываются этим слоем в результате его гидратации. Элементарные поверхностные комплексы с участием кислорода возникают на Ое при заполнениях поверхности, существенно меньшей монослоя. Конфигурация комплексов определяется исходя из свойств массивных соединений германия и кислорода [1]. Эти комплексы должны быть встроены в кристаллическую решетку на поверхности и способствовать устранению асимметрии последней. Подобные комплексы являются ковалентными и имеют связи определенной длины и энергетической прочности. Связи расположены под определенными углами друг к другу. Это обусловливает в некоторых случаях их существенную деформацию. Высокая хемосорбционная активность поверхности Ое объясняется насыщением атомами кислорода разорванных поверхностных связей германия. Гидратация поверхности окисла. Одним из наиболее распространенных способов насыщения разорванных связей на поверхности окислов является их соединение с гидроксильными группами ОН. В связи с этим поверхность окислов практически всегда имеет гидратный покров. Последнее обстоятельство является определяющим для поверхностных свойств окислов БЮг. Слабосвязан 6—295 65
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 31 32 33 34 35 36 37... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
