Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 27 28 29 30 31 32 33... 140 141 142
|
|
|
|
При рассмотрении различных типов оборванных связей и возникающих при их объединении специфических поверхностных связей следует учитывать наличие у кремнезема сложного типа 5рп-гибридизации. Возникновение поверхности в металлическом кристалле существенно влияет на распределение свободных электронов в металле: оно вызывает сглаживание электронной плотности на поверхности. Другим эффектом, связанным с образованием поверхности, является эмиссия электронов с поверхности в вакуум. Удаление электронов с поверхности вызывает появление положитель Поверхность (100)Поверхность (НО) Рис. 2-10. Схемы распределения электронной плотности на поверхности металлического кристалла а — ориентация (100); б —ориентация (ПО). ного заряда в слоях, прилегающих к поверхности. Последнее, в свою очередь, приводит к появлению отрицательного заряда на поверхности, т. е. у поверхности образуется двойной заряженный слой. На рис. 2-10 схематически показаны два случая: на атомарно-гладкой поверхности типа (100) эффект сглаживания отсутствует (рис. 2-10,а), на атомарно-шероховатой поверхности (ПО) происходит сглаживание атомарного рельефа (рис. 2-10,6), так как при этом энергия электронов в кристалле уменьшается. Параллельно возникает электрический рельеф. Электрический рельеф или, точнее, неоднородность нормальной к поверхности составляющей электрического поля, на поверхности металлического монокристалла может быть обнаружена экспериментально при изучении мессбауэровских спектров атомов изотопов Ре57 и Бп119, расположенных на его поверхности. 56 Наличие электрического поля с заметным градиентом наблюдается на поверхности (310) монокристалла вольфрама при измерении мессбауэровских спектров Ре57. Неоднородные электрические поля наблюдаются "а поверхности поликристаллического вольфрама. Мессба-уэровский спектр монослоев Бп119 на поверхности платины указывает на наличие градиентов электрического поля в тех местах ее поверхности, на которых адсорбировались атомы Бп119. Динамические свойства поверхностных атомов. Методом ДМЭ было установлено, что характер тепловых колебаний атомов поверхности кристалла серебра отличен от характера колебаний атомов в объеме [8]. Средний квадрат компонент амплитуды колебаний, перпендикулярных поверхности иг\ и параллельных ей У2п, больше соответствующих величин объема кристалла. Кроме того, наблюдается анизотропия тепловых колебаний, так как У2п [/21. Аналогичные результаты были получены и для других металлов (например, Си н N1). Амплитуда поверхностных колебаний может превышать амплитуду колебаний в объеме'до двух раз [в]. Изучение мессбауэровского спектра поверхностных ионов 57Ре3+ на А1гОз свидетельствует, что этн ноиы находятся в неоднородном электрическом поле [8]. Последнее обстоятельство позволяет найти абсолютное значение разности: и\-и\, = 1ХМ-" см"1. На поверхности кремния анизотропия среднего квадрата амплитуды колебаний по данным мессбауэровского спектра нонов Ре57 отсутствует [8]. Теоретические расчеты подтверждают возможность более высоких значений поверхностной амплитуды колебаний и наличие анизотропии. В кристаллах могут возникать поверхностные волны [в]. Поверхностные атомы кристаллов элементарных веществ (алмаз, аргон) приобретают отличный от нуля динамический эффективный заряд. Отличия в распределении зарядов атомов на поверхности и в объеме обусловливает появление дипольного момента первого порядка [8]. Это явление вызывает изменение спектра поглощения и может обнаруживаться по поверхностным колебаниям акустического и оптического типов в тонких пленках подобных кристаллов. Нарушение симметрии кристалла атомарно-чистой поверхностью. Нарушение поверхностью симметрии, свойственной объему кристалла, имеет несколько аспектов. Появление поверхности нарушает симметрию распределения масс. На "идеальной" поверхности все соседи поверхностного атома расположены от него по одну сторону. Кроме того, появление "идеальной" поверхности нарушает симметрию сил, действующих на поверхностный атом со стороны других атомов. Третьим следствием возникновения "идеальной" поверхности может
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 27 28 29 30 31 32 33... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |