Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 130 131 132 133 134 135 136... 140 141 142
|
|
|
|
но осадить на стеклянную подложку. Пленки, полученные при энергии 2.4-10-16 Дж и плотности тока 0,114 мА/см2, имели толщину около 300 нм и сопротивление 1,2-103 Ом.1 При разложении карбонила рения электронной бомбардировкой при энергии электронов 9 -10—17 Дж и плотности тока около 1,5 мА/см2 осаждались пленки рения толщиной от 30 до 180 нм. Пленки толщиной 30—40 нм имели удельное сопротивление примерно Ю-3 Ом-см. £, 0,16аДж Рис. 8-21. Влияние энергии электронов Е на состав разлагаемых электронной бомбардировкой карбонилов Сг, Мо и V по данным масс-спектров осколочных ионов. / _ интенсивность линии осколочного иона; 2/ — суммарная интенсивность всех ионов 1124]. Температурный коэффициент сопротивления в этом диапазоне толщин изменялся от —2 "Ю-4 до + 1.1Х XI О"4 град-1. Механизм полимеризации под влиянием облучения электронами. Образование полимерной пленки под влиянием электронной бомбардировки может происходить из органических молекул двумя способами: в соответствии с радикальным механизмом и по ионному механизму. В первом случае электроны возбуждают, но не ионизируют молекулу полимера. В результате атом водорода отрывается от молекулы, и на ее конце образуется активный радикал Я, к этому радикалу присоединяется мономер М: Я*-Я; + Я\(8-21) +(8-22) +—(8"23) При ионном механизме электронный удар ионизирует молекулу полимера: Тот или иной механизм полимеризации может преобладать в зависимости от значения энергии и вида по-лимеризуемого вещества. Рассмотрим более подробно механизм полимеризации пленок из пара силиконового масла. В этом случае между силиконовыми молекулами возникают поперечные связи с метиленовыми радикалами в качестве мостиков:
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 130 131 132 133 134 135 136... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
