Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 126 127 128 129 130 131 132... 140 141 142
|
|
|
|
НС—сн І I НС—сн сн2—сн—сн2-----сн2-сн-сн2-----сн2—сн-сн2— сн3 I 3 сн И,В—Вис[р-азидпбензпил)-4—метилцинлогексан 6) молекулах свет с длиной волны А,ф250 нм поглощают только комплексы атомов, содержащие двойные связи. Уровни энергии при поглощении света с Хф соответствуют в этом случае энергиям возбуждения я-электронов двойных связей, что записывается символически в виде я—-я. Свет с А,ф^250 нм может возбуждать также электроны, находящиеся на валентных орбиталях гетёроато-мов ¡(0, Ы) и образующих двойные связи с атомом углерода. Переход в возбужденное состояние обозначается в этом случае я—ж*. В карбонильных соединениях переходы типа я—"-я* ответственны за длинноволновую область поглощения при 280—320 нм. Из сказанного следует, что если чистые полимеры не содержат двойных связей, они прозрачны в видимой части спектра. Часто полимеры содержат примеси — пигменты естественного или искусственного происхождения. Воздействие света на них основано на тепловом механизме (превращение световой энергии в тепловую), т. е. оно не фотохимическое по своей природе. Рис. 8-19. Структура и схема сшивания светом высокополимерных молекул фоторезиста поливинилциннамата (а) и схемы возбуждения светом диазидосоединений (б, в), сшивающих молекулы в фоторезисте на основе полиизопрена, схема разрушения светом позитивного фоторезиста "а основе артохиноидиазида (г).
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 126 127 128 129 130 131 132... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
