Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 125 126 127 128 129 130 131... 140 141 142
|
|
|
|
вакансий УА8. Здесь происходит интенсивное окисление частиц фо-толитического серебра галогеном. Поэтому для повышения интенсивности образования поверхностных центров скрытого изображения вводят акцепторы галогена. Изучение с помощью электронного микроскопа показывает, что в крупных эмульсионных кристаллах выделение фотолитического серебра происходит вблизи середин ребер кристалла (рис. 8-17). Последнее связывается с возможностью наличия в этих местах выходов дислокаций или границ двойников. Для кристаллов эмульсий, не подвергавшихся длительному созреванию (перекристаллизации, приводящей к укрупнению кристаллов), центры скрытого изображения возникают вблизи углов кристаллов. Большая часть центров скрытого изображения находится вблизи поверхности кристаллов (в слое толщиной 5 -10-2 мкм). Механизм воздействия света на фоточувствительное стекло и фо-тоситалл. Светочувствительные стекла имеют силикатную природу (в качестве основы служит БЮг). В качестве модифицирующих добавок применяют окислы 1л20; Ыа20, К20 [123]. Такие стекла содержат до 15% В203, А1208, l&.gO, СаО и т. п. Известны также алю-моборофосфатные стекла (не содержащие БЮг) состава, %: (25—46) Р205; (8—9) В203; (17—30) А1203; (5—12) N320; (6—25) КаО; (0—3) 1л20; (6—7) 1пО; (2—3) Ыар; (1—2) А1Р8. В качестве очувствляющих добавок вводят Аи, Ад, Си, АдЫОз. Необлученное стекло содержит равномерно растворенные ионы Аи, Ag или Си. Полагают, что эти металлы находятся в стекле в несвязанном состоянии, т. е. в виде истин-_____"ых растворов [124]. В результате облучения могут образоваться нейтральные металлические атомы за счет захвата фотоэлектронов, оторванных светом от других ионов и атомов. Эти атомы должны служить при высокой температуре центрами коагуляции частиц Аи, Ац или Си, которые и создают видимое изображение. Существует разновидность светочувствительного стекла "фотоформ", для которой скорость травления засвеченных участков существенно выше, чем участ-Рис. 8-17. Места образоков, не подвергшихся освещению, ваиия фотолитическогоПри длительной экспозиции возника ссребра в крупном криют металлические частицы. Эти частицы сталле АцВт, образовавслишком малы, чтобы кристаллизация шемся в результате химипроходила интенсивно. Поэтому приме-ческого созревания. няют специальные добавки или дополни тельную термообработку, чтобы увеличить количество кристаллической фазы. В ряде стекол кристаллическая фаза, особенно если она содержит силикат и метасиликат лития, дисиликат бария или фториды щелочных металлов, интенсивно травится, в то время как иезасве-ченные стеклообразные участки практически не травятся. На рис. (8-18,а—г) показаны стадии получения фигурного сквозного выреза. После того как в стекле вытравлен фигурный сквозной вырез (рис. 8-18,г), вещество окружающей этот вырез пластинки с помощью тепловой обработки может быть превращено в высоко прочную керамическую массу с высокой температурой плавления. Эта керамическая масса получила название "фотокерам" [125]. Деструкция и сшивание полимеров при облучении светом. При облучении ультрафиолетовым светом (УФ) в полимерах развивается реакция разрушения связей, называемая реакцией деструкции. Поглощаемые кванты света переводят атомы и отдельные комплексы — составные элементы молекулы в возбужденное состояние или ионизируют их, т. е. открывают валентные электроны. Поглощение фотонов происходит селективно и соответствует системе квантовомехаии-ческих уровней атома или молекулы. В сложных молекулах, в том числе и для полимеров, большое количество близко расположенных уровней формирует полосу поглощения. Совокупность полос поглощения образует спектр поглощения, специфика которого определяется молекулярной структурой полимера. Для того чтобы свет оказы а) 8)г) Ф0п1ОКврам Рис. 8-18. Стадии формирования фигурного отверстия в пластине фотоситалла типа "фотокерам". А — исходное светочувствительное стекло; В — после термообработки, вызывающей кристаллизацию облученного участка С; £, Е — стадии превращения стекла А в ситалл с фигурным отверстием в виде буквы Г, возникшим после избирательного травления участка С0. вал эффективное фотохимическое воздействие, необходимо выполнение условия Л,|/2А.ф. Здесь А.|/2 — длина волны света, соответствующая длинноволновому краю полосы поглощения (длина волны, при которой поглощение в два раза меньше максимального), А,ф—длина волны фотохимически активного света. Многие из органических веществ поглощают лишь ультрафиолетовый свет. Например, для насыщенных углеводородов А.1/2=й;200 им. Если в молекуле имеются двойные связи с я-связью, А,,/2 для л-свя-зи смещается в сторону больших длин волн. Различные структурные элементы, включающие в себя комплексы атомов (особенно атомы, сильно отличающиеся по своей природе от атомов основного вещества), могут оказывать существенное влияние иа спектр поглощения полимера. Такие комплексы атомов, ответственные за определенную полосу поглощения, называют хроматофорами. Если молекула не содержит других атомов, кроме С, Н, О н N. то %\/2, как правило, меньше 250 нм. В таких
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 125 126 127 128 129 130 131... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
