Материаловедение в микроэлектронике
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 119 120 121 122 123 124 125... 140 141 142
|
|
|
|
Последовательность сфокусированных столкновений может быть описана как некоторая квазичастица — фо-кусон. Фокусон переносит только энергию столкновения. Характер упаковки атомов в кристаллическую решетку проявляется также в том, что при передаче импульса от иона к плотному упакованному ряду атомов решетки может произойти смещение значительного участка этого ряда на один или несколько периодов решетки. Подобное смещение может быть описано как квазичастица — динамический кроудион. Перемещение этой квазичастицы в отличие от фокусона сопровождается переносом массы. Если в процессе смещения кроудион наталкивается на дефект или другую неоднородность в решетке, то возможно образование разделенных на длину кроу-диона вакансии и междуузельного атома. Длина кроу-диона зависит от величины потерь энергии, связанных с ее рассеянием кроудионом на атомах соседних рядов. Доля этих потерь существенно зависит от угла передачи импульса для данного кроудиона. Вероятность образования кроудиона длиной пп0, где п0 — длина кроудиона в периодах решетки, соответствующая начальному углу столкновения 0О, зависит от вероятности попадания при столкновении в телесный угол 8^0оПри угле во (Е, п0) с направлением кроудиона длина последнего составит пф. Здесь а — период решетки, Е — энергия, передаваемая при столкновении под углом 0О. На рис. 8-8 приведены расчетные соотношения значений начального угла 0о и Е, соответствующие различным значениям % (8—30) [113]. Распределение квазичастиц и фокусонов по длинам (с длиной, большей п0, для решетки меди) показано на рис. 8-8. При уменьшении энергии движущегося иона в области ЕЮЕа расстояния между столкновениями становятся соизмеримыми с периодом решетки. Энергия иона в этом случае рассеивается на малых длинах пробега а и энергию, превышающую Еа, получает большое количество атомов некоторой локальной области кристалла. Подобную область называют пиком смещения. Рассеянная в пике смещения энергия обусловливает кратковременное расплавление всей области. При энергии 4,2-10-17 Дж размер подобной области достигает 3—10 нм. Время существования расплавленного состояния мало, примерно Ю-11 с. Зарождение в области лика смещения фокусонов и краудио-нов, обусловливает вынос из этой области энергии и массы далеко за ее пределы. Последнее явление вызывает образование в пике смещения разреженной зоны (области с высокой концентрацией вакансии). На периферии (на расстоянии, соответствующем средней длине краудионов) возникает соответственно скопление меж-дуузельных атомов. Существует некоторая критическая величина энергии СТОЛКНОВеНИЯ Е^р. ЕСЛИ ЭНерГИЯ СТОЛКНОВеНИЯ НИЖе Екр, возникают кроудионы, при больших значениях образу ет, ,? 0,2. ^66 0,1 9' 1 1 і / / И А 0 500 W0B К Рис. 8-8. Длина фокусона п (Е) как функция энергии Е/Еф. Еф — энергия фокусировки. Рис. 8-9. Влияние температуры мишени иа среднеквадратичное отклонение i|2 от направления [ПО]; сплошная кривая — теория; пунктирная— эксперимент [103]. ются фокусоны. Если Е~ЭЕф энергии фокусировки, она рассеивается в несфокусированных столкновениях. Когда она уменьшается до Е^Еф, возникают фокусоны. Если энергия, передаваемая фокусоном, £ф больше энергии внедрения атома в междуузлия Еаь, то образуются атомы в междуузлиях. В противном случае (Еф.Еаъ) происходит лишь тепловое возбуждение атомов. Фокусоны, встречая внутренние границы, дефекты упаковки, двойниковые прослойки, дислокации, рассеиваются; цепочки сфокусированных столкновений прерываются. Так как фокусоны распространяются вдоль плотноупакованных направлений, то наиболее существенное рассеяние вызывают дефекты, персекающие эти плотноупакованные направления. Если последний атом прерванной цепочки имеет энергию ЕЕаь, то по другую сторону дефекта возникнет внедренный атом. В то же
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 119 120 121 122 123 124 125... 140 141 142
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
