Спеціальні способи зварювання: Навчальний посібник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 267 268 269 270 271 272 273... 438 439 440
|
|
|
|
емітує термокатод. Граничниіі залишковиіі тиск іонно-гетерних насосів складає близько 10"^ Па. Швидкість дії максимальна в діапазоні 10"^...10-'^Па і складає у насосів ГИН-05М1 0,45 mVc, у ГИН-5 -4,5 м'/с. Результатом розвитку іонно-гетерних насосів стали орбітрон-ні іонно-гетерні насоси, в яких за рахунок збільшення пробігу електронів інтенсивність іонізації газу різко збільшується. Магнітні електророзрядні насоси, на відміну від іонно-гетерних, не мають високотемпературних елементів електродної системи. Для одержання активних плівок і для іонізації газів у них використовується електричниіі розряд і викликане ним катодне розпилення титану. Електрична система (анод і катод) розміщується в магнітному полі, перпендикулярному до поверхні катода. При наявності на електродах різниці потенціалів у декілька кіловольт між ними утворюється електричниіі розряд, якиіі завдяки магнітному полю стабільно підтримується в широкому діапазоні тисків. Позитивні іони газів, що утворюються внаслідок зіткнення електронів із молекулами, прискорюються електричним полем у напрямку катода і проникають у нього, викликаючи розпилення матеріалу катода (титану). Розпилениіі титан осідає головним чином на аноді. Активні гази (азот, кисень) зв'язуються на сві-жоутворенііі на аноді плівці в стабільні хімічні сполуки (нітриди, оксиди). Аргон відкачується завдяки адсорбції ііого іонів на катоді. Такі насоси можуть бути неохолоджувані типу НМД і охолоджувані типу НМД О. Швидкість дії різна, наприклад, у НМД-1 складає 1,2 mVc, у НМД-0-0,63-1 0,6 м'/с. Ці насоси досить складні в експлуатації, мають тривалиіі період запуску, а також, як і іонно-гетерні, бояться різкого підвищення тиску. Тому для технологічних процесів наіібільш широко використовують гетерні випаровувальні насоси. Сучасниіі рівень розвитку вакуумної техніки дозволяє комплектування необхідними насосами будь-яких технологічних установок залежно від технічного завдання. Розрахунки вакуумних систем детально розглянуті в підручниках та спеціальнііі літературі [102,108,115,130]. 269
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 267 268 269 270 271 272 273... 438 439 440
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
